机械手波纹管连接-机械手波纹管连接图

大家好，今天小编关注到一个比较有意思的话题，就是关于机械手波纹管连接的问题，于是小编就整理了1个相关介绍机械手波纹管连接的解答，让我们一起看看吧。

1. 晶圆真空机械手,5轴水平双手指结构

1、晶圆真空机械手,5轴水平双手指结构

这种机械手采用了直线型真空吸附结构，灵活可靠，显微镜平台能够提供40-1000倍的观察效果。它还可以提供多种灵活多变的晶圆检测模式，包含以下检测内容：晶圆ID、晶圆notch的方向、晶圆镟转角度及速度、晶圆微观的晶格等，并能够实现连续监控。

采用轴在轴中的设计方法，减小轴之间的不同心以及惯量不对称的问题。（4）动态轨迹修正技术：通过传感器信息和机器人运动信息的融合，检测出晶圆与手指之间基准位置之间的偏移，通过动态修正运动轨迹，保证机器人准确地将晶圆从真空腔室中的一个工位传送到另一个工位。

拟人化工业机器人在机械结构上有类似人的行走、腰转、大臂、小臂、手腕、手爪等部分，在控制上有电脑。此外，智能化工业机器人还有许多类似人类的“生物传感器”，如皮肤型接触传感器、力传感器、负载传感器、视觉传感器、声觉传感器、语言功能等。传感器提高了工业机器人对周围环境的自适应能力。

真空机器人是一种在真空环境下工作的机器人，主要应用于半导体工业中，实现晶圆在真空腔室内的传输。真空机械手难进口、受限制、用量大、通用性强，其成为制约了半导体装备整机的研发进度和整机产品竞争力的关键部件。洁净机器人是一种在洁净环境中使用的工业机器人。

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